BCl3 99.999% 是一种无色气体，具有特殊气味，可溶于水。该物质具有强腐蚀性，广泛应用于半导体工业，例如在硅等半导体材料的蚀刻过程中作为蚀刻气体使用。
特性参数：
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规格 |
99.999% |
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氧 |
≤ 1 ppm |
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氮 |
≤ 4 ppm |
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一氧化碳 |
≤ 0.5 ppm |
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二氧化碳 |
≤ 2 ppm |
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甲烷 |
≤ 0.5 ppm |
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光气 |
≤ 1 ppm |
应用：
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用于制药行业的化学试剂
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作为硅 p 型掺杂的硼源
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电阻生产中的载气
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耐火涂层
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氮化硼生产原料
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金属精炼
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光纤制造
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高能燃料和火箭推进剂
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等离子体蚀刻工艺
包装与储存：
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远离火源和热源。
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储存温度应保持在 35 ℃ 以下，最高储存温度不得超过 52 ℃。
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钢瓶需直立放置，关闭并密封瓶阀，并加装钢瓶帽。应与其他化学品分开存放，储存区域需配备泄漏应急处理设备。
