高纯度氨气 (NH3)

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  • 单位:千克
  • 包装:IBS 罐 1000L,罐车
  • 产地:越南

高纯度氨气 (NH3),也称电子级氨,是一种无色气体,广泛用于半导体工业中的电子元件制造。在芯片、平板显示器及部分光伏电池的生产过程中,它被用于清洗和刻蚀工艺。

高纯度氨气 (NH3)

技术参数:

项目 纯度 纯度 纯度
氨气 (NH3) ≥99.9995% ≥99.9999% ≥99.99999%
氢气 (H2) ≤0.1ppm ≤50ppb -
氧气+氩气 (O2+Ar) ≤0.2ppm ≤10ppb -
氮气 (N2) ≤0.1ppm ≤0.1ppm ≤10ppb
水 (H2O) ≤0.1ppm ≤0.2ppm ≤60ppb
甲烷 (CH4) ≤0.1ppm ≤0.1ppm ≤10ppb
一氧化碳 (CO) ≤1.0ppm ≤0.1ppm ≤10ppb
二氧化碳 (CO2) ≤1.0ppm ≤0.1ppm ≤50ppb

一般特性:无色、不可燃液化气体,具有强烈气味。

健康危害:有毒,对粘膜和眼睛高度刺激。接触皮肤会造成严重烧伤。

应用:

  • 半导体生产
  • 表面涂层
  • 图像处理技术

包装:

气瓶规格 充装重量 (KGS/瓶) 阀门类型 20GP 容量 40GP 容量
100L 50KGS QF-11 102 瓶 200 瓶
400L 200KGS QF-11 30 瓶 60 瓶
800L 400KGS QF-11 17 瓶 30 瓶
20GP 储罐 1100KGS - - -

 

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